标准型等离子体化学气相淀积台、全自动型等离子体化学气相淀积台,是干什么用的呢?
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/12 02:21:28
标准型等离子体化学气相淀积台、全自动型等离子体化学气相淀积台,是干什么用的呢?
等离子体化学气相沉积是一种薄膜生长工艺,相应的仪器用来制备薄膜.标准和全自动是仪器功能上的区别.
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