真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/06/12 23:41:52
真空溅射镀膜
透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
显然,你这是因为膜厚不同造成的.
影响膜厚的因素有很多.除了你考虑到的抽气以外,还有工艺气体分布、靶基距、磁场密度分布等等.
你可以先尝试是否能够通过调整气体分布,或靶基距,来达到要求.
影响膜厚的因素有很多.除了你考虑到的抽气以外,还有工艺气体分布、靶基距、磁场密度分布等等.
你可以先尝试是否能够通过调整气体分布,或靶基距,来达到要求.
真空溅射镀膜透光率总是不均匀,一般都是上高下低,换了一套新的磁铁还是老样子.我们怀疑是不是抽气这方面有问题.
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